ATLEX-FBG 系列准分子激光器
TMC外壳
电晕预电离技术
固体开关
激光头尺寸＜3I
风冷，热管理
可冲洗光学架
集成4气门系统，便于气体处理
RS485，RS232，USB，FOC接口
带有能量稳定模式
CE欧标，RoHS认证
指标：
|
气体 |
ArF |
KrF |
|
波长（nm） |
193 |
248 |
|
高压开关 |
固体开关 |
固体开关 |
|
最大脉冲能量(mJ)1) |
10 |
15 |
|
最大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG （W） |
2.4 4.0 |
4.0 6.5 |
|
空间相干性 （μm） |
＞300 |
＞300 |
|
最高重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (Hz) |
300 500 |
|
|
脉冲宽度 （ns） |
5-8 |
|
|
光束尺寸（V x H）(mm)2) |
4x6 |
|
|
发散角（V x H）（mrad）2) |
1x2 |
|
|
能量稳定性 |
＜3% |
|
|
尺寸 (mm) |
540x470x370 |
|
|
重量 （kg） |
60 |
|
|
冷却方式 |
Air |
|
|
供电要求 |
230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase |
|
1） 在低频时测量；稳定模式下，允许10%的能量和功率下降
2） 典型值，FWHM