ATLEX-1000-I 系列准分子激光器

ATLEX-1000-I 系列准分子激光器

高重频,>1000Hz

TMC外壳

电晕预电离技术

固体开关

激光头尺寸<3I

风冷,热管理

可冲洗光学架

集成4气门系统,便于气体处理

RS485,RS232,USB,FOC接口

带有能量稳定模式

CE欧标,RoHS认证

 

 

指标:

气体

ArF

KrF

波长(nm)

193

248

高压开关

固体开关

固体开关

最大重复频率(Hz)

1000

1000

最大脉冲能量(mJ)1)

10

15

最大平均功率

8

10

脉冲宽度 (ns)

5-8

光束尺寸(V x H)(mm)2)

4x6

发散角(V x H)(mrad)2)

1x2

能量稳定性

<3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 (kg)

60

冷却方式

Air

供电要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase

1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降

2) 典型值,FWHM