OPTINO系列——多功能波前传感器

F值范围

可检测几乎任何的F值

可检测的光学元件直径（平行光）

几乎任何直径的光学元件（选用合适配件）

测试设置

双或单通道

标准透镜阵列的直径和焦距

(0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm). Others: (0.13mm, 7mm). Special

相机接口

千兆以太网，USB2，USB3

分辨率（0.2mm直径透镜阵列和USB3相机），9mm入瞳直径

45x45（0.2mm直径阵列）；69x69（0.13直径阵列）

分辨率（千兆相机透镜阵列），15mm入瞳直径

75x75（0.2mm直径阵列）；115x115（0.13直径阵列）

非球面元件测量

测量纵向球面像差15%的变化

泽尼克多项式计算RMS重复性

1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm

波前测量RMS重复性

<λ/200

准确度

λ/10-λ/100（取决于校准元件的准确度）

子瞳动态测量范围

±50 λ

波长范围

UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ

光源

LEDS，LDS,卤素灯

软件（控制和分析）

Sensoft

采样频率

15-500Hz（相机决定）

处理频率

5-150Hz(相机和电脑决定）

准直器步进电机供电需求

12V/2A DC

触发

TTL 5V