Silverline™ F-Theta镜

Silverline™ F-Theta镜

Jenoptik可提供各种场镜和扩束镜。Jenoptik开发了JENar®F-theta场镜,用于中等和高功率激光微加工。波长范围为1080nm到266nm。针对高功率和短脉冲激光器的应用,Jenoptik开发了全熔融石英镜头的Silverline™F-theta产品系列。当与Jenoptik的扩束镜一起使用时,光束扩展可达10倍。可集成到各种光学系统中。

 

 

 

波长范围 透镜型号 焦距 扫描场对角线 最大全对角扫描角度 用于2轴扫描的1/e2处的最大光斑尺寸 在1/e²处的焦点尺寸
[nm]   [mm] [mm] [° ] [mm] [μm]
1030...1080 017700-025-26 160 110 40 14 22
017700-026-26 255 161 36 20 25
900...1100 601787 NEW 160 110 40 14 19
601804 NEW 255 161 36 20 21
355 017700-402-26 103 71 40 9 8
017700-406-26 255 240 54 10 17
017700-405-26 510 431 51 14 24
586840 NEW 170 140 50 10 11
266 017700-601-26 103 71 40 9 6

 

在1/e²处的焦点尺寸 a1建议镜子间距 a2第二个镜子到法兰的距离 远心度(只有 F-Theta |带扫描仪) 后表面到机械表面的工作距离(包括窗口) 安装螺丝 选配窗口型号
[μm] [mm] [mm] [° ] [mm]    
22 17 40 5.2 | 5.4 184 M85x1 576225
25 25 48 7.2 | 7.4 303 M85x1 576225
19 17 40 5.2 | 5.4 182 M85x1 602021
21 25 48 7.2 | 7.4 302 M85x1 602021
8 14 47 2.4 | 2.8 135 M85x1 576239
17 13 42 12.7 | 12.7 314 M85x1 579878
24 14 42 18.2 | 18.2 609 M85x1 576241
11 13 42 4.8 | 4.8 236 M85x1 610826
6 14 46 2.6 | 2.9 133 M85x1 610812