XUV/VUV光谱仪
XUV/VUV光谱仪
H+P公司的XUV/VUV光谱仪采用平面掠入射具有像差校正的特点，三块光栅波长范围分别为1-20nm,5-80nm和40-200nm,总波长覆盖范围为1nm-200nm.光谱仪采用无狭缝入射能够提高光谱仪灵敏度。模块化设计能够满足不同实验的结构配置需求。它集成了狭缝固定架、滤波插入装置以及光栅电动定位装置。
参数规格：
波长（nm）
5～20
10～60
25～80
工作模式
狭缝
无狭缝
无狭缝
光源距离(m)
0.4～0.6
0.5～1.5
平场尺寸（mm）
25.4
50
50
色散（nm/mm）
0.5～0.7
0.7～1.1
0.9～1.3
分辨率（nm）
≈0.06
≈0.09
0.11
※波长范围1-15nm需要另一块光栅
※也可以定制其他结构来匹配不同的光源距离
下面的图像可以证明XUV光谱仪的测量能量。它展...