ATLEX-1000-I 系列准分子激光器
高重频，＞1000Hz
TMC外壳
电晕预电离技术
固体开关
激光头尺寸＜3I
风冷，热管理
可冲洗光学架
集成4气门系统，便于气体处理
RS485，RS232，USB，FOC接口
带有能量稳定模式
CE欧标，RoHS认证
指标：
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气体 |
ArF |
KrF |
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波长（nm） |
193 |
248 |
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高压开关 |
固体开关 |
固体开关 |
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最大重复频率（Hz） |
1000 |
1000 |
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最大脉冲能量(mJ)1) |
10 |
15 |
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最大平均功率 |
8 |
10 |
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脉冲宽度 （ns） |
5-8 |
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光束尺寸（V x H）(mm)2) |
4x6 |
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发散角（V x H）（mrad）2) |
1x2 |
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能量稳定性 |
＜3% |
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尺寸 (mm) |
540x470x370 |
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重量 （kg） |
60 |
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冷却方式 |
Air |
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供电要求 |
230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase |
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1） 在低频时测量；稳定模式下，允许10%的能量和功率下降
2） 典型值，FWHM