ATL Lasertechnik

ATLEX-S 系列准分子激光器 - 超紧凑设计 - 高重频 - TMC外壳 - 电晕预电离技术 - 固体开关 - 激光头尺寸＜3I - 风冷，热管理 - 可冲洗光学架 - 集成4气门系统，便于气体处理 - RS485，RS232，USB，FOC接口 - 带有能量稳定模式 - CE欧标，RoHS认证 指标： 气体 ArF KrF 波长（nm） 193 248 高压开关 固体开关 固体开关 最大重频（Hz） 300 500 300 500 最大脉冲能量(mJ)1) 10 15 最大平均功率（W） 2.4 4.0 4.0 6 脉冲宽度 （ns） 5-8 光束尺寸（V x H）(mm)2) 4x6 发散角（V x H）（mrad）2) 1x2 能量稳定性 ＜3% ...

ATLEX-I 系列准分子激光器 - TMC外壳 - 电晕预电离技术 - 固体开关 - 激光头尺寸＜3I - 风冷，热管理 - 可冲洗光学架 - 集成4气门系统，便于气体处理 - RS485，RS232，USB，FOC接口 - 带有能量稳定模式 - CE欧标，RoHS认证 指标： 气体 F2 ArF KrF XeCl XeF 波长（nm） 157 193 248 308 351 高压开关 固体开关 最大脉冲能量(mJ)1) 1 10 15 8 7 最大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG（W） 0.2 0.5 2.4 4.0 4.0 6.5 2.0 3.0 1.7 2.5 最高重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (...

ATLEX-1000-I 系列准分子激光器 高重频，＞1000Hz TMC外壳 电晕预电离技术 固体开关 激光头尺寸＜3I 风冷，热管理 可冲洗光学架 集成4气门系统，便于气体处理 RS485，RS232，USB，FOC接口 带有能量稳定模式 CE欧标，RoHS认证 指标： 气体 ArF KrF 波长（nm） 193 248 高压开关 固体开关 固体开关 最大重复频率（Hz） 1000 1000 最大脉冲能量(mJ)1) 10 15 最大平均功率 8 10 脉冲宽度 （ns） 5-8 光束尺寸（V x H）(mm)2) 4x6 发散角（V x H）（mrad）2) 1x2 能量稳定性 ＜3% 尺寸 (mm) 540x470x370 重量 （kg） 60 冷却...

ATLEX-FBG 系列准分子激光器 TMC外壳 电晕预电离技术 固体开关 激光头尺寸＜3I 风冷，热管理 可冲洗光学架 集成4气门系统，便于气体处理 RS485，RS232，USB，FOC接口 带有能量稳定模式 CE欧标，RoHS认证 指标： 气体 ArF KrF 波长（nm） 193 248 高压开关 固体开关 固体开关 最大脉冲能量(mJ)1) 10 15 最大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG （W） 2.4 4.0 4.0 6.5 空间相干性 （μm） ＞300 ＞300 最高重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (Hz) 300 500 脉冲宽度 （ns） 5-8 光束尺寸（V x H）(mm)2) 4x6 发散角（V...