ATLEX-I 系列准分子激光器

ATLEX-I 系列准分子激光器

  • TMC外壳
  • 电晕预电离技术
  • 固体开关
  • 激光头尺寸<3I
  • 风冷,热管理
  • 可冲洗光学架
  • 集成4气门系统,便于气体处理
  • RS485,RS232,USB,FOC接口
  • 带有能量稳定模式
  • CE欧标,RoHS认证

 

指标:

气体

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长(nm)

157

193

248

308

351

高压开关

固体开关

最大脉冲能量(mJ)1)

1

10

15

8

7

最大平均功率

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG(W)

 

0.2

0.5

 

2.4

4.0

 

4.0

6.5

 

2.0

3.0

 

1.7

2.5

最高重频

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG  (Hz)

 

300

500

脉冲宽度 (ns)

5-8

光束尺寸(V x H)(mm)2)

4x6

发散角(V x H)(mrad)2)

1x2

能量稳定性

<3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 (kg)

60

冷却方式

Air

供电要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase

 
 

1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降

2) 典型值,FWHM