ATLEX-I 系列准分子激光器
- TMC外壳
- 电晕预电离技术
- 固体开关
- 激光头尺寸<3I
- 风冷,热管理
- 可冲洗光学架
- 集成4气门系统,便于气体处理
- RS485,RS232,USB,FOC接口
- 带有能量稳定模式
- CE欧标,RoHS认证
指标:
气体 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
波长(nm) |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
高压开关 |
固体开关 |
||||
最大脉冲能量(mJ)1) |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
最大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG(W) |
0.2 0.5 |
2.4 4.0 |
4.0 6.5 |
2.0 3.0 |
1.7 2.5 |
最高重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (Hz) |
300 500 |
||||
脉冲宽度 (ns) |
5-8 |
||||
光束尺寸(V x H)(mm)2) |
4x6 |
||||
发散角(V x H)(mrad)2) |
1x2 |
||||
能量稳定性 |
<3% |
||||
尺寸 (mm) |
540x470x370 |
||||
重量 (kg) |
60 |
||||
冷却方式 |
Air |
||||
供电要求 |
230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase |
1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降
2) 典型值,FWHM